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线性压电角度台OMZK20A
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1403
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项目描述
技术规格
客户案例
项目描述
压电角度台采用压电陶瓷驱动器直接驱动，内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度、且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，主要应用于纳米定位、生物显微、测试应用、半导体技术、光学、微加工等领域。
OMTOOLS提供的OMZK系列压电升降台台，通过压电陶瓷驱动，具有极佳的运动控制精度、定位精度、分辨率和稳定性，都可以达到纳米量级、定位稳定时间仅为毫秒量级、使用过程中不产生磁场同时也不收磁场的影响，并且适用于常规环境以及真空环境。
- 结构紧凑、高刚性。
- 零间隙，高精度柔性铰链导向系统。
- 常温和超低温均能使用，超高真空兼容。
- 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
- 带位移传感器，提供位置和速度闭环控制。
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精密重载型电动角位台OMPZ系列
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