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压电倾斜台OMZK20A
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压电倾斜台OMZK20A

OMTOOLS提供的压电驱动倾斜台具有运动无需润滑,真空兼容,具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
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产品编号
1403
产品型号:
数量
-
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0
项目描述
技术规格
客户案例
项目描述

压电倾斜台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。
 

OMTOOLS提供的压电驱动倾斜台具有运动无需润滑,真空兼容,具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

 

  • 结构紧凑、高刚性。
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统。
  • 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
  • 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制。
技术规格

产品型号

OMZK20A

外形尺寸(长宽高)

45.0x40.0x20.0(mm)

台面平面度

10(um)

总质量

150(g)

机身材质

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

导线

屏蔽线、铜线

运动范围

±10°

回转中心

59mm

细调步进

0.1m°

重复定位精度

6m°

传感器分辨率

0.1、0.25、0.5 m°

 位置传感器

光栅

安装方向

水平安装

垂直运动方向负载

4N

客户案例
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红星杨科技
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