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线性压电位移台EPSN100L
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产品编号
1121
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项目描述
技术规格
客户案例
项目描述
线性压电位移台，使用压电陶瓷作为运动促动元件，可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长，从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题，在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。
OMTOOLS提供的压电驱动位移台具有运动无需润滑，真空兼容，具有步进和扫描双工作模式，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
- 结构紧凑、高刚性。
- 零间隙，高精度柔性铰链导向系统。
- 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
- 带位移传感器，提供位置和速度闭环控制。
关键词:
微动压电驱动位移台
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线性压电位移台EPSM100A
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