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线性压电位移台EPSN100L
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线性压电位移台EPSN100L

OMTOOLS提供的EPSN系列微动压电驱动位移台为平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭 环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电位移台体积小、结构紧凑 易于集成。
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产品编号
1121
产品型号:
数量
-
+
库存:
0
项目描述
技术规格
客户案例
项目描述

线性压电位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。

 

OMTOOLS提供的EPSN系列微动压电驱动位移台为平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电位移台体积小、结构紧凑 易于集成。
 

  • 结构紧凑、高刚性。
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统。
  • 常温和超低温均能使用,超高真空兼容。
  • 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
  • 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制。
关键词:
微动压电驱动位移台
技术规格

产品型号

EPSN100L

外形尺寸(长宽高)

66x26.5x43(mm)

运动平行量

10(um)

总质量

210(g)

机身材质

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

驱动机构

钹青铜

导线

屏蔽线、铜线

运动范围

100um

闭环重复定位精度

10nm

开环分辨率

<1nm

闭环分辨率

2nm

垂直运动方向负载

20N

沿运动方向负载

20N

工作温度

0~60

工作湿度

温度40℃时,相对湿度95%(非冷凝)

真空兼容性

低真空

控制类型

开环/闭环

最大驱动电压

140V

客户案例
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红星杨科技
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