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线性压电位移台EPSN100L
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产品编号
1121
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项目描述
技术规格
客户案例
项目描述
线性压电位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。
OMTOOLS提供的EPSN系列微动压电驱动位移台为平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电位移台体积小、结构紧凑 易于集成。
- 结构紧凑、高刚性。
- 零间隙,高精度柔性铰链导向系统。
- 常温和超低温均能使用,超高真空兼容。
- 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
- 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制。
关键词:
微动压电驱动位移台
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线性压电位移台EPSM100A
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