搜索
确认
取消
这是描述信息

400-1618-188

当前位置:
首页
/
/
/
/
线性压电位移台EPSM100A
浏览量:
1000

线性压电位移台EPSM100A

OMTOOLS提供的压电驱动位移台具有运动无需润滑,真空兼容,具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
1120
产品型号:
数量
-
+
库存:
0
项目描述
技术规格
客户案例
项目描述

 线性压电位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。
OMTOOLS提供的压电驱动位移台具有运动无需润滑,真空兼容,具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
 

  • 结构紧凑、高刚性;
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统;
  • 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命;
  • 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制;
关键词:
压电驱动位移台
技术规格

产品型号

EPSM100A

外形尺寸(长宽高)

138.0x138.0x32.0(mm)

台面平面度

10(um)

总质量

1100(g)

机身材质

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

导线

屏蔽线、铜线

X轴行程

±50mm

Y轴行程

±50mm

最大速度

2mm/s

细调步进

1nm

细调范围

2500nm

重复定位精度

±200nm(典型值)高精度±75nm

传感器分辨率

1、4、20、100、500、1000nm

 位置传感器

光栅

安装方向

水平安装

垂直运动方向负载

40N

沿运动方向负载

2N

操作温度

0~60

操作湿度

温度达到40时,相对湿度60%(非冷凝)

真空兼容性

提供真空版本

控制类型

开环/闭环

最大驱动电压

80V

安装要求

安装面平面度0.01mm

客户案例
<

友情链接:

红星杨科技
红星杨科技
这是描述信息

400-1618-188

027-87860098

周一至周五 8:30-17:30