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线性压电位移台EPSL系列
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1000

线性压电位移台EPSL系列

OMTOOLS提供的压电驱动位移台具有运动无需润滑、真空兼容、可在液氮温区(-269摄氏度)至室温的宽温区内工作等优点,具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
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1000
产品编号
1119
产品型号:
数量
-
+
库存:
0
项目描述
技术规格
客户案例
项目描述

线性压电位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。

 

OMTOOLS提供的压电驱动位移台具有运动无需润滑、真空兼容、可在液氮温区(-269摄氏度)至室温的宽温区内工作等优点,具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

 

  • 结构紧凑、高刚性。
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统。
  • 常温和超低温均能使用,超高真空兼容。
  • 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
  • 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制。
关键词:
压电驱动位移台
技术规格

EPSL15A

产品型号

EPSL15A

外形尺寸(长宽高)

33.4x20.0x12.8(mm)

运动平行量

10(um)

总质量

30(g)

机身材质

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

驱动机构

钹青铜

导线

屏蔽线、铜线

运动范围

±7.5mm

运动步进

50~2000nm

最大速度

3mm/s

细调步进

1nm

细调范围

3000nm

重复定位精度

100nm

分辨率

20nm

垂直运动方向负载

20N

沿运动方向负载

4N

工作温度

-20~80℃(-269~80℃)

真空兼容性

兼容

控制类型

开环/闭环

最大驱动电压

80V

EPSL23A

产品型号

EPSL23A

外形尺寸(长宽高)

43.4x20.0x12.8(mm)

运动平行量

10(um)

总质量

42(g)

机身材质

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

驱动机构

钹青铜

导线

屏蔽线、铜线

运动范围

±11.5mm

运动步进

50~2000nm

最大速度

3mm/s

细调步进

1nm

细调范围

3000nm

重复定位精度

100nm

分辨率

20nm

垂直运动方向负载

20N

沿运动方向负载

4N

工作温度

-20~80℃(-269~80℃)

真空兼容性

兼容

控制类型

开环/闭环

最大驱动电压

80V

EPSL37A

产品型号

EPSL37A

外形尺寸(长宽高)

53.4x20.0x12.8(mm)

运动平行量

10(um)

总质量

60(g)

机身材质

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

驱动机构

钹青铜

导线

屏蔽线、铜线

运动范围

±18.5mm

运动步进

50~2000nm

最大速度

3mm/s

细调步进

1nm

细调范围

3000nm

重复定位精度

100nm

分辨率

20nm

垂直运动方向负载

20N

沿运动方向负载

4N

工作温度

-20~80℃(-269~80℃)

真空兼容性

兼容

控制类型

开环/闭环

最大驱动电压

80V

EPSL92A

产品型号

EPSL92A

外形尺寸(长宽高)

123.0x28.0x15.5(mm)

运动平行量

20(um)

总质量

190(g)

机身材质

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

驱动机构

钹青铜

导线

屏蔽线、铜线

运动范围

±46mm

最大速度

3mm/s

闭环重复定位精度

100nm

闭环位置传感器分辨率

2nm/5nm

分辨率

20nm

垂直运动方向负载

20N

沿运动方向负载

4N

工作温度

0~60

工作湿度

温度40℃时,相对湿度95%(非冷凝)

真空兼容性

兼容

控制类型

开环/闭环

最大驱动电压

80V

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