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线性压电位移台EPSL系列
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线性压电位移台EPSL系列

OMTOOLS提供的压电驱动位移台具有运动无需润滑、真空兼容具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
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市场价
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产品编号
1119
产品型号:
数量
-
+
库存:
0
项目描述
技术规格
客户案例
项目描述

线性压电位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。

 

OMTOOLS提供的压电驱动位移台具有运动无需润滑、真空兼容,具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

 

  • 结构紧凑、高刚性。
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统。
  • 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
  • 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制。
关键词:
压电驱动位移台
技术规格

产品型号

EPSL15A

EPSL23A

EPSL37A

EPSL92A

外形尺寸

(长宽高)

33.4x20.0x12.8(mm)

43.4x20.0x12.8(mm)

53.4x20.0x12.8(mm)

123.0x28.0x15.5(mm)

台面平面度

10(um)

10(um)

10(um)

10(um)

总质量

64(g)

72(g)

91(g)

219(g)

机身材质

铝合金

铝合金

铝合金

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

PZT压电陶瓷

PZT压电陶瓷

PZT压电陶瓷

导线

屏蔽线、铜线

屏蔽线、铜线

屏蔽线、铜线

屏蔽线、铜线

运动范围

±7.5mm

±11.5mm

±18.5mm

±46mm

最大速度

2~3mm/s

2~3mm/s

2~3mm/s

2~3mm/s

细调步进

1nm

1nm

1nm

1nm

细调范围

2500nm

2500nm

2500nm

2500nm

重复定位精度

±150nm(典型值)高精度±50nm

±150nm(典型值)高精度±50nm

±150nm(典型值)高精度±50nm

±200nm(典型值)高精度±75nm

传感器分辨率

1、4、20、100、500、1000nm

1、4、20、100、500、1000nm

1、4、20、100、500、1000nm

1、4、20、100、500、1000nm

位置传感器

光栅

光栅

光栅

光栅

安装方向

水平安装

水平安装

水平安装

水平安装

垂直运动方向负载

20N

20N

20N

20N

沿运动方向负载

2N

2N

2N

2N

操作温度

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

操作湿度

相对湿度40~60%

相对湿度40~60%

相对湿度40~60%

相对湿度40~60%

真空兼容性

提供真空版本

提供真空版本

提供真空版本

提供真空版本

控制类型

开环/闭环

开环/闭环

开环/闭环

开环/闭环

最大驱动电压

80V

80V

80V

80V

安装要求

安装面平面度0.01mm

安装面平面度0.01mm

安装面平面度0.01mm

安装面平面度0.01mm

客户案例
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