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线性压电位移台EPSL系列
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产品编号
1119
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项目描述
技术规格
客户案例
项目描述
线性压电位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。
OMTOOLS提供的压电驱动位移台具有运动无需润滑、真空兼容、可在液氮温区(-269摄氏度)至室温的宽温区内工作等优点,具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
- 结构紧凑、高刚性。
- 零间隙,高精度柔性铰链导向系统。
- 常温和超低温均能使用,超高真空兼容。
- 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
- 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制。
关键词:
压电驱动位移台
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