

搜索

确认

取消

登陆|注册

400-1618-188

QQ咨询

点击在线咨询

电话沟通

400-1618-188

微信咨询

关注红星杨科技

TOP

当前位置：

线性压电位移台EPSK系列

浏览量:

1000

线性压电位移台EPSK系列

OMTOOLS提供的压电驱动位移台具有运动无需润滑、真空兼容、可在液氮温区（-269摄氏度）至室温的宽温区内工作等优点，具有步进和扫描双工作模式，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

零售价

0.0

元

市场价

0.0

元

浏览量:

1000

产品编号

1118

产品型号:

数量

库存:

所属分类

返回列表



项目描述

技术规格

客户案例

项目描述

线性压电位移台，使用压电陶瓷作为运动促动元件，可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长，从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题，在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。

OMTOOLS提供的压电驱动位移台具有运动无需润滑、真空兼容，具有步进和扫描双工作模式，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

结构紧凑、高刚性。
零间隙，高精度柔性铰链导向系统。
压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
带位移传感器，提供位置和速度闭环控制。

关键词:

压电驱动位移台

技术规格

产品型号	EPSK3020A	EPSK3030A	EPSK3040A	EPSK4025A
外形尺寸（长宽高）	33.2x30.0x11.5（mm）	43.2x30.0x11.5（mm）	53.2x30.0x11.5（mm）	43.2x40.0x15.0（mm）
台面平面度	10（um）	10（um）	10（um）	10（um）
总质量	33（g）	45（g）	60（g）	72（g）
机身材质	铝合金	铝合金	铝合金	铝合金
驱动	PZT压电陶瓷	PZT压电陶瓷	PZT压电陶瓷	PZT压电陶瓷
导线	屏蔽线、铜线	屏蔽线、铜线	屏蔽线、铜线	屏蔽线、铜线
运动范围	±10mm	±15mm	±20mm	±12.5mm
最大速度	2~3mm/s	2~3mm/s	2~3mm/s	2~3mm/s
细调步进	1nm	1nm	1nm	1nm
细调范围	2500nm	2500nm	2500nm	2500nm
重复定位精度	±150nm（典型值）高精度±50nm	±150nm（典型值）高精度±50nm	±150nm（典型值）高精度±50nm	±150nm（典型值）高精度±50nm
传感器分辨率	1、4、20、100、500、1000nm	1、4、20、100、500、1000nm	1、4、20、100、500、1000nm	1、4、20、100、500、1000nm
位置传感器	光栅	光栅	光栅	光栅
安装方向	水平安装	水平安装	水平安装	水平安装
垂直运动方向负载	20N	20N	20N	20N
沿运动方向负载	2N	2N	2N	2N
操作温度	-20~80℃	-20~80℃	-20~80℃	-20~80℃
操作湿度	相对湿度40~60%	相对湿度40~60%	相对湿度40~60%	相对湿度40~60%
真空兼容性	提供真空版本	提供真空版本	提供真空版本	提供真空版本
控制类型	开环/闭环	开环/闭环	开环/闭环	开环/闭环
最大驱动电压	80V	80V	80V	80V
安装要求	安装面平面度0.01mm	安装面平面度0.01mm	安装面平面度0.01mm	安装面平面度0.01mm

上一个

线性压电位移台EPSL系列

下一个

小型高精度电动位移台OMSC40N系列

产品目录

友情链接：





手机官网

微信公众号

400-1618-188

027-87860098

周一至周五 8:30-17:30