HFM-HLI型可溯源原子力显微镜可将原子力探针与白光干涉结合,实现原子力探针扫描超精密表面微纳形貌和结构测量。 1.产品型号:HFM-HLI2.产地:中国武汉3.产品介绍:HFM-HLI型可溯源原子力显微镜可将原子力探针与白光干涉结合,实现原子力探针扫描超精密表面微纳形貌和结构测量。4.技术指标:型号指标HFM-HLI垂直分辨率 (μm)1nm垂直范围(mm)3μm水平分辨率(μm)2nm水平范围(mm2)50μm╳50μm5.应用实例(1)107.3±2nm NT-MDT TGZ标准纳米样板测试结果 (2)517.5±2.5nm NT-MDT TGZ标准纳米样板测试结果(3)光刻二维光栅表面测量结果