模组性能说明:
CFM06030
产品简介:
采用有铁芯直线电机CFM系列
高速度,高加速度
采用光栅尺或磁栅尺,分辨率可达0.1μm
定位精度可达5μm,重复定位精度可达2μm
可搭接XY平台
可安装多个滑台,并可分别控制
可搭接成多轴平台
单轴总长度可达4000mm
鄂公网安备 42018502000834号