HFM-HLI型可溯源原子力显微镜可将原子力探针与白光干涉结合,实现原子力探针扫描超精密表面微纳形貌和结构测量。
1.产品型号:HFM-HLI
2.产地:中国武汉
3.产品介绍:HFM-HLI型可溯源原子力显微镜可将原子力探针与白光干涉结合,实现原子力探针扫描超精密表面微纳形貌和结构测量。
4.技术指标:
型号 指标 | HFM-HLI |
垂直分辨率 (μm) | 1nm |
垂直范围(mm) | 3μm |
水平分辨率(μm) | 2nm |
水平范围(mm2) | 50μm╳50μm |
5.应用实例
(1)107.3±2nm NT-MDT TGZ标准纳米样板测试结果
![201508141439513017019.jpg 201508141439513017019.jpg]()
(2)517.5±2.5nm NT-MDT TGZ标准纳米样板测试结果
![201508141439513119627.jpg 201508141439513119627.jpg]()
(3)光刻二维光栅表面测量结果
![201508141439513176610.jpg 201508141439513176610.jpg]()